Ostatnią wersję silnika o oznaczeniu D.IIIavü (oficjalnie D.IIIav) wprowadzono do produkcji tuż przed końcem wojny, w październiku 1918 roku. Wyróżniało ją zastosowanie dłuższych tłoków wykonanych z aluminium (w miejsce stosowanych w poprzednich modelach żeliwnych), co zwiększyło prędkość obrotową jednostki napędowej do 1600 obr./min i moc maksymalną do 217 KM na wysokości 0. Na polepszenie wydajności silnika miało też wpływ dodawanie benzolu do benzyny lotniczej, co zwiększało jej liczbę oktanową.
Ogółem wyprodukowano około 12 000 egzemplarzy wszystkich wersji.
+ Powstałe wersje silnika(za: Ługowski, 2012) Wariant Rok powstania Moc D.III 1914 118 kW (160 KM) przy 1400 obr./min D.IIIa 1917 128 kW (174 KM) przy 1400 obr./min D.IIIaü 1917 147 kW (200 KM) przy 1400 obr./min D.IIIavü 1918 160 kW (217 KM) przy 1600 obr./min
Opis techniczny thumb|left|Silnik Mercedes D.IIIa eksponowany w Muzeum Lotnictwa Polskiego w Krakowie Mercedes D.III jest sześciocylindrowym, rzędowym, chłodzonym cieczą tłokowym silnikiem lotniczym. Pojemność skokowa wynosi 14,8 dm³, średnica cylindra 140 mm, a skok tłoka – 160 mm. Długość silnika wynosi 165 cm, szerokość 49 cm i wysokość 107 cm;