Taki układ jest prosty w konstrukcji i justowaniu oraz (dzięki łatwym zmianom kąta padania wiązek na obrabianą powierzchnię) możliwością tworzenia zmian topografii i mikrostruktury powierzchni (tworzy się tzw. stempel optyczny). Dzięki rozseparowaniu wiązek laserowych na kilka torów optycznych każdą z nich można oddzielnie wzmacniać co daje większe możliwości tworzenia mikrostruktur i większą kontrolę nad układem badawczym.
W interferometrze dzielącym front falowy idea rozchodzenia się wiązek laserowych jest podobna z tą różnicą, że dzieli się fizycznie front falowy np. za pomocą pryzmatu lub elementu dyfrakcyjnego.
Zalety metody Dzięki opisanej metodzie można tworzyć bezpośrednio na materiale mikrostruktury w skali dużo większej niż w przypadku bezpośredniego grawerowania laserowego. Powstały w wyniku interferencji obraz ma wymiary nawet rzędu pojedynczych centymetrów co umożliwia tworzenie struktury na dużej powierzchni w jednym kroku technologicznym. Inną ważną zaletą jest fakt, że dzięki powstaniu zjawiska interferencji zmniejszona jest liczba elementów w układzie eksperymentalnym. Wymiary mikrostruktury są rzędu 100 nm co w przypadku bezpośredniego grawerowania laserowego nie jest osiągalne.
Przypisy
Kategoria:Optyka Kategoria:Litografia (mikrofabrykacja)