Śmierć thumb|Grób Anneliese na cmentarzu w Klingenberg am Main. Miejsce pochówku stało się miejscem pielgrzymek niemieckich katolików. 1 lipca 1976 Anneliese zmarła w swoim domu. Sekcja zwłok wykazała niedożywienie i odwodnienie, będące skutkiem głodzenia przez niemal rok trwania egzorcyzmów. Dziewczyna ważyła 30 kg i miała zniszczone stawy kolanowe wskutek nieustannego klęczenia tak, że w ostatnim czasie nie była w stanie się samodzielnie poruszać, zachorowała też na zapalenie płuc.

Proces karny Sąd Krajowy w Aschaffenburgu uznał w wyroku z 1978 roku, że przyczyną śmierci Anneliese było zagłodzenie. W czasie procesu biegli lekarze interpretowali objawy jako skutek epilepsji oraz surowego religijnego wychowania w dzieciństwie i młodości. Prokurator stwierdził, że przed śmiercią dziewczyna mogła nie otrzymywać posiłków ani napojów nawet przez tydzień. Rodzice dziewczyny, a także dwaj duchowni egzorcyści, zostali uznani winnymi za nieumyślne spowodowanie śmierci poprzez „doprowadzenie dziewczyny do śmierci wskutek niedbalstwa”. Sąd wymierzył im kary sześciu miesięcy pozbawienia wolności w zawieszeniu na trzy lata.