Łużyce stały się lennem elektorów saskich.

Wojna trzydziestoletnia i epidemia dżumy przyniosły Łużycom straszliwe spustoszenie: wymarła prawie połowa Serbołużyczan, co spowodowało dalszą kolonizację niemiecką i germanizację. W 1667 r. elektor Brandenburgii Fryderyk Wilhelm nakazał bezzwłoczne zniszczenie wszystkich druków łużyckich oraz zakazał nabożeństw w tym języku. W tym samym czasie ewangelicki Kościół Saksonii poparł drukowanie religijnej literatury łużyckiej w ramach walki z kontrreformacją. W 1706 r. powstało w Pradze „Seminarium Łużyckie” (do 1922 r. główny ośrodek kształcenia katolickich duchownych łużyckich). Ewangeliccy studenci teologii założyli w 1716 r. w Lipsku „Łużyckie Kolegium Pastorów”.

Kongres wiedeński (1815) pozostawił część Łużyc Górnych w Saksonii, a większość Łużyc oddał Prusom. Do 1835 r. w Saksonii i Prusach pojawiały się kolejne zakazy, ograniczające używanie języków łużyckich; nasiliła się emigracja Łużyczan, głównie do Teksasu (miejscowość Serbin) i Australii. W 1848 r. 5000 Łużyczan podpisało petycję do rządu Saksonii, w której domagało się zrównania praw języka łużyckiego z niemieckim w kościołach, sądach, szkołach i administracji. Od 1871 r. całe Łużyce znalazły się w obrębie zjednoczonych Niemiec.