Historia Masów został założony 20 maja 1773 r.Taka data jest podana w książce Powiat opolski. Szkice monograficzne, natomiast na stronie Urzędu Gminy Łubniany podany jest rok 1789., dekretem króla Fryderyka II. Wielkiego (kolonizacja fryderycjańska), a jego nazwa została nadana na cześć generała pruskiego, Hansa von Massowa. Miejscowość została zasiedlona Czechami. Od 1796 r. w miejscowości znajdował się drewniany budynek szkoły. Także w 1861 r. odnotowuje się istnienie w miejscowości 1-klasowej szkoły.
Do głosowania podczas plebiscytu uprawnionych było w Masowie 211 osób, z czego 173, ok. 82,0%, stanowili mieszkańcy (w tym 173, ok. 82,0% całości, mieszkańcy urodzeni w miejscowości). Oddano 209 głosów (ok. 99,1% uprawnionych), w tym 207 (ok. 98,1%) ważnych; za Niemcami głosowało 112 osób (ok. 53,6%), a za Polską 95 osób (ok. 45,5%). 1 kwietnia 1939 r. Masów został włączony do Łubnian. 1 czerwca 1948 r. nadano miejscowości, będącej wówczas związanej administracyjnie z Łubnianami, polską nazwę MasówRozporządzenie Ministrów Administracji Pulicznej i Ziem Odzyskanych z dnia 1 czerwca 1948 r. o przywróceniu i ustaleniu urzędowych nazw miejscowości ()..