Robespierre kierował niepodzielnie polityką Francji do 9 thermidora, czyli 27 lipca 1794. Tego dnia na posiedzeniu Konwentu Narodowego uchwalono jego aresztowanie. Nazajutrz wraz ze swymi współpracownikami został zgilotynowany.
Pochowany jest obecnie w Katakumbach Paryża, w bliżej nieznanym ich miejscu.
W oczach historyków Spór o ocenę rządów Robespierre’a jest jedną z ważniejszych kwestii dzielących historyków zajmujących się rewolucją francuską. Osąd postaci jest niewątpliwie utrudniony z powodu niezmiernie małej liczby weryfikowalnych źródeł. Po upadku Komitetu Ocalenia Publicznego termidorianie przejrzeli pozostałe po nim dokumenty i wybiórczo spalili. Historiografia dziewiętnastowieczna (wielotomowe dzieła Thiersa i Aularda) negatywnie oceniała Robespierre’a jako krwawego dyktatora, szalonego fanatyka; padały też dość fantastyczne oskarżenia o chęć restauracji monarchii. W latach 20. XX wieku Albert Mathiez przedstawił radykalnie inne spojrzenie, podkreślając egalitaryzm Robespierre’a i pozytywne skutki jego rządów (to wtedy KOP przezwyciężył największy kryzys rewolucyjnej Francji).