ponownie Łukasz III Górka herbu Łodzia 1565–1573
Za monarchii elekcyjnej Stanisław Górka herbu Łodzia 1573–1592 Hieronim Gostomski herbu Nałęcz 1592–1609 Jan Ostroróg herbu Nałęcz 1610–1622 Piotr Opaliński herbu Łodzia 1622–1624 Stanisław Przyjemski herbu Rawicz 1624–1628 później marszałek nadworny koronny Jan Opaliński herbu Łodzia 1628–1637 Krzysztof Opaliński herbu Łodzia 1637–1655 Jan Leszczyński herbu Wieniawa 1655–1661 później podkanclerzy koronny Andrzej Karol Grudziński herbu Grzymała 1661–1678 Krzysztof Grzymułtowski herbu Nieczuja 1679–1687 Rafał Leszczyński herbu Wieniawa 1687–1692 później wojewoda łęczycki Wojciech Konstanty Breza herbu Breza 1692–1698 Stanisław Małachowski herbu Nałęcz 1698–1699 Stanisław Leszczyński herbu Wieniawa 1699–1709 później król Polski Franciszek Zygmunt Gałecki herbu Junosza 1709–1711 Andrzej Aleksander Radomicki herbu Kotwicz 1711–1726 ustąpił na rzecz brata Macieja Maciej Radomicki herbu Kotwicz 1726–1728 Władysław Radomicki herbu Kotwicz 1728–1737 Michał Raczyński herbu Nałęcz 1737 Antoni Józef Poniński herbu Łodzia 1738–1742 Ludwik Bartłomiej Szołdrski 1742–1753 Stefan Garczyński 1753–1754 Stanisław Potocki 1754–1760 Florian Łubieński 1760–1765 Antoni Barnaba Jabłonowski 1765–1778 później kasztelan krakowski August książę ordynat Sułkowski herbu Sulima 1778–1786 Józef Klemens