Produkcja Przygotowanie i scenariusz W maju 1965 roku amerykański tygodnik „Variety” poinformował, że prezes UPA – Henry G. Saperstein zawarł umowę na koprodukcję z Tōhō pięciu filmów – trzech monster movie, filmu wojennego i thrillera szpiegowskiego, a także programu telewizyjnego, który będzie kręcony w Japonii i emitowany na stacjach w Stanach Zjednoczonych. Jednym z tych filmów okazał Frankenstein Conquers the World (1965) będący w fazie produkcji, zaś kolejnym była Inwazja potworów, którą Saperstein uważał za swoją pierwszą pełnoprawną koprodukcję z Tōhō.
Był to pierwszy film typu kaijū, który w fabule zawierał inwazję kosmitów kontrolujących potworów, co stało częstym motywem i stereotypem w japońskich monster-movies. Shinichi Sekizawa ponownie objął obowiązki scenarzysty. Saperstein uważał, że scenariusze Sekizawy miały charakter formalny, zauważając, że zbyt często filmy te „otwierały się podczas konferencji prasowej lub rządowej konferencji naukowców i urzędników”, co powoduje znużenie widowni i przekonał produkcję, że „musieli bardzo często wkraczać na scenę szybciej.