Zwiększona jasność β pozwala wykorzystać większy prąd I, dzięki czemu uzyskuje się lepszą rozdzielczość. W przypadku wykorzystania katody LaB6 uzyskuje się lepszą jasność związaną z niższą pracą wyjścia elektronów oraz mniejszym rozmiarem źródła (ok. 10 μm). Działa FEG charakteryzują się najmniejszym rozmiarem źródła (maks. 30 nm). Zarówno katoda heksaborku lantanu i działa z emisją polową dodatkowo wyróżniają się dłuższym czasem eksploatacji, niż standardowe włókna wolframowe. Emitują elektrony o mniejszym odchyleniu energetycznym, co umożliwia poprawę rozdzielczości poprzez zmniejszanie wpływu aberracji chromatycznej.
Napięcie przyspieszające jest to napięcie przyłożone pomiędzy katodą a anodą. Można rozpatrzyć dwa przypadki dla przyspieszającego elektronu. Gdy jego prędkość jest mała (dużo niższa od prędkości światła w próżni) można wyznaczyć długość fali w zależności od zastosowanego napięcia przyspieszającego:
gdzie: – napięcie przyspieszające elektrony [V].
Gdy napięcie przyspieszające jest większe od 6 kV elektrony osiągają tak dużą prędkość, że należy uwzględnić efekty relatywistyczne. Masa elektronu wzrasta ze zwiększaniem się prędkości.