Tym, co wyróżnia akcelerometry piezooporowe jest szerokie pasmo pomiarowe, pozwalające na ich skuteczne zastosowanie w pomiarach drgań o wysokich amplitudach i częstotliwościach.
Akcelerometry pojemnościowe Konstrukcja akcelerometrów pojemnościowych opiera się na pomiarze pojemności pomiędzy masą a obudową będącymi okładkami kondensatora. Pod wpływem zewnętrznej siły dochodzi do przemieszczenia się masy względem obudowy i tym samym zmiany pojemności między okładkami.
Akcelerometry MEMS W kategorii przyspieszeniomierzy wykonanych w technologii MEMS wyróżnić można zarówno akcelerometry pojemnościowe jak i piezorezystancyjne, jednak ze względu na charakter w jakim najczęściej stosuje się te układy to pierwsze z nich cieszą się większą popularnością. Akcelerometry pojemnościowe typu MEMS wyróżniają się niewielkimi rozmiarami i niską ceną.
Pośród istotnych wad akcelerometrów MEMS wyróżniają się przede wszystkim niska czułość, ograniczony zakres pomiarowy oraz podatność na zakłócenia. Parametry te można modyfikować poprzez wprowadzanie zmian w konstrukcji urządzenia - modyfikację sztywności zawieszenia masy ruchomej oraz zastosowanie różnych metod tłumienia.