Obejmowała wschodni teren prowincji Śląsk, początkowo złożyły się na nią następujące powiaty (Kreise):
opolski (Oppeln) pszczyński (Pleß) oleski (Rosenberg) lubliniecki (Lublinitz) strzelecki (Groß Strehlitz) bytomski (Beuthen O.-S.) toszecko-gliwicki (Tost-Gleiwitz) kozielski (Cosel) raciborski (Ratibor) prudnicki (Neustadt O.-S.) głubczycki (Leobschütz) niemodliński (Falkenberg) grodkowski (Grottkau) nyski (Neiße)
W 1818 roku z części terenów powiatów pszczyńskiego, toszecko-gliwickiego i raciborskiego utworzono powiat rybnicki (Kreis Rybnik) oraz powiększono powiat bytomski kosztem powiatów pszczyńskiego i toszecko-gliwickiego. W 1820 roku do rejencji opolskiej przyłączono dotąd dolnośląski powiat kluczborski (Kreis Kreuzburg).
W miarę rozwoju przemysłu i miast śląskich zmieniał się wewnętrzny podział administracyjny rejencji. W 1873 roku najbardziej ludny i uprzemysłowiony powiat bytomski podzielono na cztery nowe powiaty (Kreise):
bytomski (Beuthen O.-S.) katowicki (Kattowitz) tarnogórski (Tarnowitz) zabrski (Zabrze)
Od końca XIX wieku następowało wydzielanie największych miast z powiatów, stąd Bytom (1890), Gliwice (1897), Królewska Huta (1898), Opole (1899), Katowice (1899), Racibórz (1903), Nysa (1911) i Zabrze (1927) zostały samodzielnymi powiatami miejskimi (Stadtkreise).