Na przełomie XIX i XX wieku zaczęto wyodrębniać powiaty miejskie: Świdnica (1899), Brzeg (1907) i Wałbrzych (1924).
W 1932 nastąpiła komasacja niektórych powiatów: Kłodzko i Nową Rudę złączono w Kłodzko, Ząbkowice Śląskie i Ziębice w Ząbkowice Śląskie, Rychbach i Niemczę w Rychbach, Brzeg i Oławę w Brzeg-ziemski, Świdnicę i Strzegom w Świdnicę, Wołów i Ścinawę w Wołów.
1 października 1933 ponownie podzielono powiat Brzeg-ziemski na dwa powiaty, brzeski i oławski.
Populacja Powiat Nazwa polska Populacja (1939) Breslau (miasto) Wrocław 620 976 Breslau (powiat) Wrocław 102 622 Brieg (miasto) Brzeg 29 580 Brieg (powiat) Brzeg 38 596 Glatz Kłodzko 123 130 Frankenstein Ząbkowice Śląskie 75 056 Groß Wartenberg Syców 26 574 Guhrau Góra 39 028 Habelschwerdt Bystrzyca Kłodzka 55 672 Militsch Milicz 47 134 Namslau Namysłów 31 227 Neumarkt Środa Śląska 56 542 Oels Oleśnica 70 626 Ohlau Oława 52 475 Reichenbach Dzierżoniów 84 988 Schweidnitz (miasto) Świdnica 35 038 Schweidnitz (powiat) Świdnica 93 860 Strehlen Strzelin 57 458 Trebnitz Trzebnica 54 177 Waldenburg (miasto) Wałbrzych 64 128 Waldenburg (powiat) Wałbrzych 117 918 Wohlau Wołów 64 340 Razem