Cieszyna 1617–1621 – Jan Chrystian, ks. Brzegu 1621–1628 – Jerzy Rudolf, ks. Legnicy 1629–1639 – Henryk Wacław, ks. Oleśnicy 1639–1641 – Karol Euzebiusz Liechtenstein, ks. Opawy i Karniowa 1641–1653 – Jerzy Rudolf, ks. Legnicy 1653–1664 – Jerzy III, ks. Brzegu, 1664–1671 – Sebastian von Rostock, bp Wrocławia, ks. Nysy 1671–1674 – Wacław von Lobkowitz, ks. Żagania 1672–1676? - hrabia Krzysztof Leopold Schaffgotsch dyrektor Urzędu Zwierzchniego - p.o. starosty generalnego 1676–1682 – Fryderyk von Hessen, bp Wrocławia, ks. Nysy 1682–1684 – Jan Kasper II von Ampringen, wielki mistrz krzyżacki, ks. Bruntalu 1684–1719 – Franz Ludwig von Pfalz-Neuburg, bp Wrocławia, ks. Nysy 1719–1742 – hr. Jan Antoni Schaffgotsch dyrektor Urzędu Zwierzchniego – p.o. starosty generalnego
Literatura K. Orzechowski, Historia ustroju Śląska. 1202-1740, Wrocław 2005, s. 200-201. St. Śreniowski, Historia ustroju Śląska, Katowice Wrocław 1948
!