Jego następca elektor Maksymilian I Józef Wittelsbach przekazał księstwo Berg swojemu szwagrowi Wilhelmowi, który zamieszkał w pałacu Benrath wraz z rodziną.
W latach 1806–13 pałac pełnił funkcję rezydencji książąt Berg i Kleve: księcia Joachima Murata, Ludwiga von Hollanda oraz cesarza Napoleona I, którzy w pałacu bywali rzadko.
Po kongresie wiedeńskim pałac przeszedł w posiadanie Prus (1815). Fryderyk Wilhelm III Pruski przekazał rezydencję w użytkowanie swojemu bratankowi Wilhelmowi Fryderykowi Ludwigowi, pełniącemu funkcję dowódcy 20 dywizji pruskiej stacjonującej w Düsseldorfie. Wilhelm Fryderyk przebywał tu latem wraz z małżonką Wilhelminą Luizą.
Po 1852 pałac użytkował jako rezydencję letnią książę Karl Anton von Hohenzollern-Sigmaringen. W 1862 książę Leopold von Hohenzollern-Sigmaringen, syn księcia Karla Antona, otrzymał zgodę na zamieszkanie w pałacu od króla Wilhelma I. Jednak budowla musiała wpierw przejść gruntowny remont. Raport odnośnie do stanu rezydencji oraz propozycję jej restauracji sporządził dyrektor Komisji Budowy Pałaców Ludwig Ferdinand Hesse. 1 czerwca 1868 dokument został przedstawiony królowi Wilhelmowi I, który zatwierdził plany remontowe. Już w 1820 porównywano pałac Benrath z rezydencją Sanssouci w Poczdamie. Podobieństwa dostrzegano w planach obu budowli oraz w dekoracjach wnętrz.