W marcu 1617 roku zawarł porozumienie z pozostałymi członkami rodziny Habsburgów (w tym królem hiszpańskim Filipem III), w wyniku którego następcą Macieja został jego kuzyn, fanatyczny katolik, książę Styrii Ferdynand. W 1617 roku oddał realną władzę na rzecz Ferdynanda w Czechach, a rok później na Węgrzech. Do śmierci pozostał cesarzem i władcą Austrii.
Maciej razem ze swoją żoną ufundowali w Wiedniu Kościół Kapucynów wraz z Kryptą Cesarską, gdzie chcieli być pochowani, a która została później rozbudowana i stała się rodową nekropolią Habsburgów.
Pełna tytulatura Maciej, z Bożej łaski uświęcony i wybrany cesarz rzymski, po wieki August, król Niemiec, Węgier, Czech, Dalmacji, Chorwacji, Slawonii, etc., etc. arcyksiążę Austrii, książę Burgundii, Brabancji, Styrii, Karyntii, Karnioli, margrabia Moraw, książę Luksemburga, Górnego i Dolnego Śląska, Wirtembergii, Teck etc. książę Szwabii, hrabia Habsburga, Tyrolu, Ferreti, Kyburga, Gorycji etc. landgraf Alzacji, margrabia Świętego Cesarstwa Rzymskiego, Burgau, Górnych i Dolnych Łużyc etc.