Stąd pochodzi wyspowatość masywu.
W plejstocenie w erze kenozoicznej Masyw Ślęży był dwukrotnie ogarnięty lądolodem skandynawskim, w zlodowaceniu południowopolskim (przed 480–430 tysiącami lat) i środkowopolskim (przed 240–180 tysiącami lat). Szczyt wystawał nad powierzchnię lodowca tylko około , w formie nunataka. Surowy klimat doprowadził do potrzaskania odsłoniętej skały i utworzenia wokół szczytu gołoborzy, obecnie porośniętych lasem. W trakcie topnienia lodu na spłaszczeniach pod szczytem pozostały czapy moreny, a na stokach terasy kemowe, utworzone z piasku składanego przez spływające wody. U podnóża pozostały po ustąpienia lodowca gliniaste osady moreny dennej, która zrównała dawniejsze zaklęsłości i przykryła grubym płaszczem starsze osady. Lokalnie, zwłaszcza od strony południowej, osadzone zostały utwory pylaste, na których utworzyły się żyzne gleby lessowe.
U podnóży znajdują się kopalnie eksploatujące złoża granitu, serpentynitu i magnezytu. Kiedyś wydobywano kwarc oraz chromit.