Kolejnym właścicielem została rodzina Lassota, a następnie Lichnowski, którzy w latach 1621-1637 rozbudowali pałac i zmodernizowali wnętrza.

W 1637 Tworków kupił Wilhelm Boreck, radca cesarza Ferdynanda II, starostwa księstwa wrocławskiego. Jego syn i kuzyn sprzedali majątek wdowie po zmarłym Wilhelmie (nie miała praw dziedziczenia) za 23 tys. talarów; nowa pani tworkowska wyszła za mąż za Wacława von Reiswitz, którego potomkowie byli właścicielami przez kolejne kilkadziesiąt lat. W czasie wojny trzydziestoletniej w pałacu mieściła się kwatera wojskowa.

W 1714 Tworków kupił baron von Trach, jego siostra sprzedała go w 1772 rodzinie Eichendorff za 130 tys. guldenów, która założyła tutaj park w stylu angielskim oraz powiększyła położone w pobliżu stawy.

W 1841 do Tworkowa wprowadzili się ostatni, jak się miało okazać, mieszkańcy pałacu – rodzina von Saurma-Jeltsch. W latach 1872–1874 przeprowadzili gruntowną przebudowę kompleksu w stylu neorenesansowym;