Na ławie oskarżonych zasiedli między innymi: Arthur Liebehenschel (komendant obozu, następca Rudolfa Hössa), Max Grabner (szef obozowego Gestapo), Hans Aumeier (jeden z kierowników obozu i zastępców komendanta), Maria Mandl (kierowniczka obozu kobiecego w Brzezince), Karl Ernst Möckel (szef obozowej administracji) i Erich Muhsfeldt (kierownik krematoriów w Brzezince). Aumeier i Muhsfeldt zostali już wcześniej skazani za zbrodnie popełnione w obozach na terenie III Rzeszy, lecz Amerykanie postanowili przekazać ich Polsce, by odpowiedzieli także za zbrodnie, których dopuścili się w Auschwitz. W toku procesu trybunał uznał organizację obozów koncentracyjnych za organizację przestępczą.
W wyniku procesu 23 oskarżonych skazano na karę śmierci przez powieszenie (2 oskarżonym zamieniono ją następnie na dożywotnie pozbawienie wolności), 16 na karę pozbawienia wolności od dożywotniego pozbawienia wolności do 3 lat, a jednego oskarżonego uniewinniono.