Poglądowy schemat dyfuzji mechanizmem międzywęzłowym w materiałach o sieci regularnej przestrzennie centrowanej A2 (luki oktaedryczne).__ – atomy węzłowe__ – atom międzywęzłowy Średnia częstotliwość pokonywania bariery potencjału jest aktywowana termicznie, opisuje ją równanie Arrheniusa:
gdzie: – częstotliwość prób przeskoku atomu równa częstotliwość Debye’a [1/s], – bariera potencjału związana z przeskokiem atomu do luki [J], – stała Boltzmanna [J/K], – temperatura bezwzględna [K].
Częstotliwość przeskoków atomu z jednej pozycji międzywęzłowej do drugiej zależy tylko od średniej częstotliwości pokonywania bariery potencjału związanej ω, co zapisuje się zależnością:
gdzie: – średnia częstotliwość przeskoków atomu, – średnia częstotliwość pokonywania bariery potencjału [1/s].
W przeciwieństwie do mechanizmu wakansowego prawdopodobieństwo kolejnych przeskoków atomu jest słabo skorelowane z poprzednim przeskokiem. Współczynnik korelacji f przyjmuje dwie wartości. W przypadku małego stężenia atomów w pozycjach międzywęzłowych (najczęstsza sytuacja) równy jest 1 (brak korelacji). Dla przypadków o dużym stężeniu jest mniejszy od 1.