Architekt wzorował się na układzie istniejącej już Kalwarii Zebrzydowskiej. Pierwszy etap budowy zakończono 24 lipca 1709. Powstały wówczas 33 kapliceBania Z., 2005: Góra Świętej Anny – Jerozolima i Rzym Górnego Śląska. W: Joanna Lubos-Kozieł (red.): Pielgrzymowanie i sztuka. Góra Świętej Anny i inne miejsca pielgrzymkowe na Śląsku. Acta Universitatis Wratislaviensis nr 2846, Historia Sztuki nr XXII, Wrocław, s. 49 i 53.. Pierwsze nabożeństwo kalwaryjskie odprawiono 14 września 1764. W 1764 r. Klemens XIII udzielił odpust pielgrzymom do świętoannskiej kalwariiBania Z., 2005: Góra Świętej Anny – Jerozolima i Rzym Górnego Śląska. W: Joanna Lubos-Kozieł (red.): Pielgrzymowanie i sztuka. Góra Świętej Anny i inne miejsca pielgrzymkowe na Śląsku. Acta Universitatis Wratislaviensis nr 2846, Historia Sztuki nr XXII, Wrocław, s. 54..