Starostą oświęcimskim został Ludwik Wykowski. Powiat oświęcimski wszedł 23 grudnia 1920 roku w skład województwa krakowskiego.. Do 17 grudnia 1923 roku starostą oświęcimskim był Stefan Żelechowski. 1 kwietnia 1927 roku wyłączono z powiatu gminy: Przybradz, Graboszyce i Gierałtowice, które włączono do powiatu wadowickiego.. 1 kwietnia 1932 roku, w ramach oszczędności administracji państwowej, powiat został zniesiony. Gminy okręgu sądu grodzkiego w Oświęcimiu (większa część terytorium znoszonej jednostki) wcielono do powiatu bialskiego, a gminy okręgu sądu grodzkiego w Zatorze do powiatu wadowickiego.. W latach okupacji niemieckiej (1939–1945) terytorium byłego powiatu oświęcimskiego wchodziło w skład powiatu Bielitz (Landkreis Bielitz). 1 stycznia 1951 roku powiat został utworzony ponownie. W jego skład weszły gminy ze znoszonego powiatu bialskiego: Oświęcim, Brzeszcze, Kęty, Osiek i nowa gmina Wilamowice (utworzona w 1951 z części obszaru gmin Bestwina i Kęty) oraz miasta Oświęcim, Kęty i Wilamowice, a także wyłączone z powiatu wadowickiego miasto i gmina Zator.. 1 czerwca 1975 roku powiaty zostały zniesione. Gminy które wchodziły w jego skład, znalazły się w nowo utworzonym województwie bielskim.