Siegfried Selberherr (ur. 3 sierpnia 1955 w Klosterneuburgu) – austriacki naukowiec, pracuje w dziedzinie mikroelektroniki. Jest profesorem zwyczajnym w Instytucie MikroelektronikiInstytutu Mikroelektroniki. Uniwersytetu Technicznego w Wiedniu. Prowadzi tam przede wszystkim badania w zakresie modelowania i symulacji zjawisk fizycznych w mikroelektronice.
Kariera zawodowa Siegfried Selberherr studiował elektrotechnikę na Uniwersytecie Technicznym w Wiedniu, gdzie uzyskał dyplom inżyniera w 1978 r. W kolejnych latach uzyskał stopień doktora nauk technicznych (1981) i habilitację (1984) Następnie odbył staż naukowy w Bell Labs w USA. Od 1988 r. jest profesorem nadzwyczajnym Politechniki w Wiedniu w zakresie technik oprogramowania systemów mikroelektronicznych. W latach 1998–2005 był dziekanem Wydziału Elektrotechniki i Nauk InformacyjnychWydziału Elektrotechniki i Nauk Informacyjnych..