miniatura|Fig.1 Exemple de dispositiu MEMS : oscil·lador mecànic Un Sistema microelectromecànic (MEMS acrònim anglès) és un sistema de tecnologia de dispositius microscòpics amb components entre 1 i 100 micròmetres, integrats juntament amb components electrònics per a processar la informació. Aquests dispositius micromecànics poden ser palanques, molles, membranes deformables, estructures vibrants, etc.
Es poden trobar aplicacions en biomedicina, automòbil, electrònica de consum i industrial i sensòrica (sensors de força, pressió, moviment, so...) en general.
Material per a fabricar MEMS Silici: el més emprat en circuits electrònics. Polímers: materials plàstics especials. Metalls: s'empren or, níquel, alumini, crom, titani, plata i platí.
Procesos per a fabricar MEMS Procesos de deposició de pel·lícules de gruix micromètric. Procesos de fotolitografia de transferència d'un patró a un material fotosensible. Procesos de gravat de patrons mitjançants líquids i vapors químics.
Aplicacions Injectors MEMS piezoelèctrics per a impressores d'injecció de tinta. Acceleròmetres MEMS per a sistemes airbag en automòbils. Acceleròmetres MEMS per telèfons mòbils, cònsoles de joc, càmares de fotografia. Giroscopi MEMS per a detectar orientacions. Sensors de pressió MEMS en múltiples aplicacions : pressió atmosfèrica, pressió pneumàtics, pressió arterial... Micromiralls MEMS per a projectors d'imatges o vídeo. Punts MEMS per a pantalles de visualització. Sensor de pressió sonora per a micròfons de telèfons mòbils i similars. Oscil·ladors MEMS per a patrons de rellotge. Actuador lineal MEMS per a sistemes de posicionament. Sensors de gas : CO2, gasos de compostos orgànics (VOC)
Fabricants de MEMS Més destacats a 06/04/2017: Micròfons de ST, kmowles, AKUSTICA, Cirrus logic, JRC, vesper Acceleròmetres, giroscopis i sensors inercials d'Analog devices, ST, Colibrys, maxim, Memsic Sensors de corrent de Memsic Sensors de temperatura de TI,Omron Càmara infrarroja d'Omron,Panasonic Micromiralls d'intersil,Microvision Oscil·ladors de sitime Commutadors d'Analog devices Detectors de gas d'ams Referències
Enllaços externs Enllaços als fabricants : ST, knowles , AKUSTICA , Cirrus logic, JRC , vesper ,Analog devices , Colibrys , maxim, Memsic, Omron , Panasonic, intersil , Microvision ,sitime,TI
Categoria:Microelectrònica Categoria:Sensors