フッ化ホスホリル（フッかホスホリル、）は、化学式で表される化合物である。無色の気体で、水溶液中で加水分解し、ジフルオロリン酸塩とモノフルオロリン酸塩を経て最終的にリン酸塩となる。

合成と反応 フッ化ホスホリルは五フッ化リンの部分的な加水分解によって得られる。

フッ化ホスホリルは加水分解により単純なフルオロリン酸の前駆体となり、反応はジフルオロリン酸から始まる。

次の反応では、フルオロリン酸とリン酸が生成される。

フッ化ホスホリルはジメチルアミンと反応し、ジフルオロジメチルアミノホスホリルとジフルオロリン酸イオン、ヘキサフルオロリン酸イオン（ジメチルアンモニウム塩として）を生成する。フッ化ホスホリルがこれらのイオンへ不均化分解する傾向は、当然ながら塩化物では見られない。

脚注