真空冶金装置

真空冶金装置（しんくうやきんそうち、）とは、真空または減圧雰囲気下で金属の溶解、精錬、鋳造、熱処理などを行う装置の総称である。大気中では酸素や窒素と反応しやすい金属や、ガス成分の少ない高清浄な材料を得るために用いられる。

概要 大気中での溶解では酸素・窒素・水素が溶け込み、介在物や欠陥の原因となる。真空下で特殊溶解法を適用すると、酸素値を汎用ステンレス鋼の約10分の1（10 ppm以下）まで低減できるとされる。

主な装置 真空誘導炉（VIM） - 真空容器内で電磁誘導により金属を加熱・溶解する。成分を精密に制御しやすい。 真空アーク再溶解炉（VAR） - 6.7 Pa以下の高真空中で、水冷銅ルツボ内に懸架した消耗電極をアーク熱で溶解し、積層凝固させる。

用途 半導体製造装置向けの高清浄ステンレス鋼などの製造に、VIMやVARが用いられている。

脚注

関連項目 真空 真空システム 真空誘導溶解 真空アーク再溶解