ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。内部の機構全てがオイルフリーなわけではない。半導体製造など、油汚染を嫌う場合に多く使われる。

真空ポンプの分類として、ウエットポンプに対比する用語。

ドライポンプの種類　 ルーツ型ドライポンプ クロー型ドライポンプ スクリュー型ドライポンプ サイドチャンネル型ドライポンプ スクロール型ドライポンプ ベーン型ドライポンプ ドライロータリーベーンポンプ

関連項目 真空 真空計

ドライポンプメーカー 日本ブッシュ アルバック 樫山工業 荏原製作所等