direita|miniaturadaimagem|Um microanalisador de sonda eletrônica "Microscan" da Cambridge Scientific Instrument Company baseado em um projeto de Peter Duncumb.Cosslett, V. E., and P. Duncumb. "Micro-analysis by a flying-spot X-ray method." Nature 177, no. 4521 (1956): 1172-1173. Este modelo está alojado no Museu de Tecnologia de Cambridge Uma microssonda eletrônica (EMP), também conhecida como microanalisador de sonda eletrônica (EPMA) ou analisador de microssonda eletrônica (EMPA), é uma ferramenta analítica usada para determinar de forma não destrutiva a composição química de pequenos volumes de materiais sólidos. Funciona de forma semelhante a um microscópio eletrônico de varredura: a amostra é bombardeada com um feixe de elétrons, emitindo raios X em comprimentos de onda característicos dos elementos que estão sendo analisados. Isto permite que as abundâncias de elementos presentes em pequenos volumes de amostra (normalmente 10-30 micrômetros cúbicos ou menos) sejam determinadas,Wittry, David B. (1958). "Electron Probe Microanalyzer", US Patent No 2916621, Washington, DC: U.S. Patent and Trademark Office quando uma tensão de aceleração convencional de 15-20 kV é usada. As concentrações de elementos, desde o lítio ao plutônio, podem ser medidas em níveis tão baixos como 100 partes por milhão (ppm), dependendo do material, embora com cuidado, sejam possíveis níveis abaixo de 10 ppm. A capacidade de quantificar o lítio por EPMA tornou-se realidade em 2008.
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