Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) () — метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений в масс-спектрометрии.
Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ, однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации органических веществ. Используется для анализа состава твёрдых поверхностей и тонких плёнок. МСВИ — самая чувствительная из техник анализа поверхностей, способная обнаружить присутствие элемента в диапазоне 1 часть на миллиард.
Сущность метода Образец облучается сфокусированным пучком первичных ионов (например Xe+, Cs+, Ga+) с энергией от 100 эВ до нескольких кэВ (большая энергия используется в методе FAB). Образующийся в результате пучок вторичных ионов анализируется с помощью масс-анализатора для определения элементного, изотопного или молекулярного состава поверхности.
Выход вторичных ионов составляет 0,1-0,01 %.
Вакуум Метод МСВИ требует создания условий высокого вакуума с давлениями ниже 10−4 Па (примерно 10−6 мбар или мм рт. ст.). Это необходимо, чтобы гарантировать, что вторичные ионы не сталкиваются с молекулами окружающего газа на их пути к датчику (длина свободного пробега), а также для предотвращения поверхностного загрязнения адсорбцией частиц окружающего газа во время измерения.
Измерительный прибор Классический анализатор на основе МСВИ включает в себя: первичную ионную пушку, производящую первичный ионный пучок; коллиматор первичных ионов, ускоряющий и сосредотачивающий луч на образце (в некоторых устройствах с возможностью отделить первичные ионы специальным фильтром или создать пульсацию луча); высоковакуумную камеру, содержащую образец и ионную линзу для извлечения вторичных ионов; массовый анализатор, разделяющий ионы согласно их отношению заряда к массе; устройства детектирования ионов.
Разновидности Различают статический и динамический режимы МСВИ.
Статический режим Используется небольшой поток ионов на единицу поверхности (< 5 нА/см²). Таким образом, исследуемая поверхность остаётся практически невредимой.
Применяется для исследования органических проб.
Динамический режим
Поток первичных ионов большой (порядка мкА/см²), поверхность исследуется последовательно, со скоростью примерно 100 ангстрем в минуту.
Режим является деструктивным, и, следовательно, подходит больше для элементного анализа.
Эрозия пробы позволяет получить профиль распределения веществ по глубине. См. также SHRIMP Литература
Афанасьев В.П. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел // Соросовский образовательный журнал, 1999, №2, с. 110-116.
Ссылки
Категория:Аналитическая химия Категория:Масс-спектрометрия Категория:Электричество