W latach 60. XIX wieku John Stenhouse złożył dwa patenty dotyczące właściwości chłonnych węgla drzewnego do oczyszczania powietrza (patenty 19 lipca 1860 r. I 21 maja 1867 r.), których wynikiem był pierwsza praktyczna maska oddechowa.
Kilka lat później John Tyndall stworzył ulepszenie do maski strażackiej w formie kaptura, który filtrował dym i szkodliwy gaz z powietrza (1871–1874 r.).
W latach 50. XX wieku wprowadzono na rynek filtry HEPA jako wysokowydajne filtry powietrza, po czym w latach 40. XX wieku wykorzystano je w amerykańskim Projekcie Manhattan w celu kontrolowania radioaktywnych zanieczyszczeń w powietrzu.
Pierwszy filtr HEPA do użytku domowego został sprzedany prawdopodobnie w Niemczech w 1963 roku przez braci Manfreda i Klausa Hammesa, którzy stworzyli Incen Air Corporation – prekursora korporacji IQAir.