Dopiero liberalna rewolucja w 1820 zniosła ją definitywnie.
Obszar jurysdykcji Jurysdykcja trybunału w Galicji obejmowała obszar dawnego królestwa o tej nazwie, a pod względem kościelnym diecezje Santiago de Compostela, Tui, Orense, Mondoñedo i Lugo.
Archiwum i statystyki wyroków Archiwum inkwizycji w Santiago de Composteli zostało zniszczone całkowicie podczas napoleońskiej okupacji Hiszpanii w latach 1808–1814. Przechowywany w hiszpańskim Narodowym Archiwum Historycznym zbiór Tribunal de la Inquisición de Santiago obejmuje jedynie dokumentację dotyczącą przejętego po 1820 przez państwo hiszpańskie majątku tego trybunału. Historia i działalność tego trybunału odtwarzana jest więc przede wszystkim w oparciu o dokumentację z archiwów Supremy, w szczególności w oparciu o korespondencję inkwizytorów z Supremą.
Od połowy XVI do końca XVII wieku trybunały lokalne były zobligowane przesyłać Supremie doroczne sprawozdanie ze sprawy zakończonych wyrokiem. W przypadku Galicji zachowały się 83 takie raporty z lat pomiędzy 1565 a 1696.