Autor i współautor ponad 200 publikacji naukowych i referatów konferencyjnych, w tym 16 referatów zaproszonych z czego 7 na konferencjach międzynarodowych (w tym 4 na otwarcie konferencji). Był ponadto autorem 16 patentów i wniosków patentowych.
Międzynarodowa działalność naukowa
Pracował naukowo w National Bureau of Standards, Washington DC, USA (1977–1978), w Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, USA (1978–1979). Był dwukrotnie „visiting professor” w Lehigh University, Bethlehem, PA, USA (1992 i 1995), w Technische Universitat Wien, Wiedeń, Austria (1994) i w National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan (2019). W Wiedniu i w Taipei prowadził wykłady (semestralne). Prowadził także 2 projekty naukowe z USA (1. 1979–1982, 2. 1991–1994), 4 projekty unijne i jeden z Singapurem (2006–2009). Był inicjatorem i kierownikiem Centre of Excellence of Microsystems – Design and Technology (2002–2005) finansowanego przez UE. W Polsce kierował ponad 30 grantami badawczymi.