Do wad tej metody należy droga aparatura, duże ryzyko tworzenia się aglomeratów oraz mała wydajność.
Proces CVD prowadzi się w podwyższonej temperaturze. Do reaktora wprowadza się substraty za pomocą gazu nośnego.
Metoda osadzania z fazy ciekłej Należą do nich metoda zol-żel, metoda strącania z roztworu oraz metoda odwróconych miceli.
Metoda zol-żel jest najbardziej popularną z tych metod. Prekursorem jest tlenek metalu, który w wodzie ulega hydrolizie. Następnie tworzą się nanocząstki tlenku. Otrzymany osad przemywa się i suszy, a następnie praży w wysokiej temperaturze. Uzyskuje się w ten sposób krystaliczne nanocząstki tlenku metalu. Zaletą metody jest niska temperatura procesu, jednorodny rozkład wielkości cząstek i duża czystość produktu. Metoda stosowana jest głównie do wytwarzania tlenków metali.
Metoda rozdrabniania Prosta metoda polegająca na mechanicznym rozdrobnieniu prekursorów. Powszechnie stosowanym procesem jest mielenie, z użyciem młynków. Kule mielące, wykonane ze stali i węglików metali ciężkich, rozdrabniają materię na skutek zderzeń z prekursorem. Proces ten jest najbardziej efektywny w przypadku materiałów ceramicznych.