Z punktu widzenia metody pomiarowej, spektroskopię TERS można uznać za specyficzną spektroskopię SERS (ang. Surfce-Enhanced Raman Spectroscopy). W spektroskopii TERS kluczowe jest stwarzanie wzmocnienia podobnego do klasycznej spektroskopii powierzchniowej, dlatego końcówka igły skanującej musi być pokryta odpowiednim metalem np. platyna, srebro, złoto. Owa igła na końcówce ma grubość maks. kilku atomów i pełni funkcję wzmocnienia pola, w wyniku czego uzyskuje się wzmocnienia intensywności Ramana rzędu nawet 103-107. Oznacza to możliwość badania powierzchni z dokładnością do 1.7 nmChen, Chi; Hayazawa, Norihiko; Kawata, Satoshi, "A 1.7 nm resolution chemical analysis of carbon nanotubes by tip-enhanced Raman imaging in the ambient", (February 2014).. Inne źródła podają wartość rozdzielczości ok. 10 nmS. Berweger, M. Raschke „Tip-Enchanced Raman Scattering”, University of Colorado at Boulder (2014)..