Technologia TERS pozwala na sprzężenie z mikroskopem sił atomowych (AFM, ang. Atomic Force Microscope) lub skaningowym mikroskopem tunelowym (STM, ang. Scanning Tunneling Microscope)Anderson, Mark S, "Locally enhanced Raman spectroscopy with an atomic force microscope (AFM-TERS)". Applied Physics Letters. 76 (21): 3130, (2000).Stöckle, Raoul M.; Suh, Yung Doug; Deckert, Volker; Zenobi, Renato. "Nanoscale chemical analysis by tip-enhanced Raman spectroscopy". Chemical Physics Letters. 318 (1–3): 131–136, (February 2000).. Zastosowanie TERS pozwala na pominięcie ograniczeń takich jak limit Abby’ego (tak jak w klasycznej spektroskopii ramanowskiej) oraz sygnału zbieranego od dużej grupy molekuł (tak jak w przypadku SERS). Do pomiaru potrzebny jest mikroskop optyczny w celu prawidłowego zlokalizowania wiązki laserowej będącej źródłem rozpraszanego światła.