Konstrukcja próbnika Konstruktorem statków serii Surveyor była firma Hughes Aircraft. Masa lądownika Surveyor 5 wynosiła 303 kg. Wysokość pojazdu mającego wylądować na Księżycu wynosiła 3,3 m, średnica zaś 4,5 m. Konstrukcja statku opierała się na aluminiowym szkielecie, do którego przymocowane były różne urządzenia naukowe (m.in. kamera pokładowa), urządzenia takie zawierały w przypadku tego lądownika także magnetometry, które zainstalowano na końcach talerzowatych podpór. Na szczycie szkieletu znajdowały się 2 panele baterii słonecznych o łącznej powierzchni 3 m². Moc tych paneli to 85 watów. Jednak wraz z główną, nieładowalną baterią, pojazd dysponował mocą aż 4096 watów. Pojazd posiadał jedną płaską antenę i dwie małe anteny kierunkowe, a także radar pokładowy. Z uwagi na swoje zastosowanie, pojazd wyposażony został w silniczki wyhamowujące lądowanie, które automatycznie miały wyłączać się na wysokości 3,5 metra nad powierzchnią Księżyca.
Przebieg misji mały|Aparatura badawcza Surveyora Po porażce Surveyora 4 eksperci zaczęli żartować, że według matematycznej zasady tym razem misja powinna się udać – i nie pomylili się.