Herzenberg ze Stanford University opracował metodę szybkiego sortowania komórek. Przyrząd który opracował, wykrywał słabe świecenie fluorescencyjne komórek barwionych rodaminą i fluoresceiną połączonych z odpowiednimi przeciwciałami. W 1974 r. firma Becton-Dickinson wyprodukowała komercyjne przyrządy oparte na tej zasadzie, a w 1975 r. firma Coulter Electronics opracowała przyrząd TPS-1 (Two Parameter Sorter) wykorzystująca laser argonowy. W 1976 r. wprowadzono nazwę flow cytometry. W latach 1973–1976 Howard Shapiro opracował cytometry wielowiązkowe, umożliwiające różnicowanie rodzajów świecenia fluorescencyjnego. Pierwszym przyrządem komercyjnym pozwalającym na analizę z użyciem różnych długości światła absorbowanego, był „Hemalog D” firmy Technicon z 1974 r. w którym do wzbudzenia fluorescencji użyto lampy wolframowo-halogenowej. W latach 1977–1978 firma Coulter Electronics opracowała przyrząd pod nazwą „Epics” wyposażony w laser argonowy oraz komputerowy system zbierania, wielowymiarowego przetwarzania i prezentacji danych. W komputerowy system zbierania i przetwarzania danych był także wyposażone systemy „Cytofluorograph 50” firmy Ortho Diagnostics z 1977 r.