thumb|zasada działania pompy dyfuzyjnej Pompa dyfuzyjna – rodzaj pompy próżniowej, w której strumień czynnika pompującego (specjalnego oleju lub rtęci) wskutek m.in. zjawiska dyfuzji porywa ze sobą cząsteczki gazu przenosząc je z obszaru próżni wysokiej (z obszaru pompowanego) do obszaru próżni wstępnej.
Zasada działania Jako czynnika pompującego używa się najczęściej oleju mineralnego lub rtęci. Podgrzewając czynnik do temperatury wrzenia elektrycznym grzejnikiem uzyskuje się parę, która pod dużym ciśnieniem kierowana jest do układu dysz formujących płynącą z dużą prędkością warstwę. Porywa ona trafiające na nią cząsteczki gazu, przenosząc je w dół pompy, gdzie następuje skroplenie czynnika na zimnych ściankach pompy (chłodzonych przez powietrze lub dodatkowy obieg chłodzącej cieczy). Skroplony czynnik dostaje się ponownie do grzejnika i wraca do obiegu. Jednocześnie w całym obszarze skraplania i ogrzewania czynnika panuje próżnia wstępna, wytwarzana przez dodatkową pompę o innej konstrukcji - w ten sposób odsysane są gazy usunięte wcześniej z obszaru próżni wysokiej, a także usuwany jest nadmiar par czynnika.