Konstrukcja Liczba dysz może być różna (najczęściej od jednej do trzech) - pompa jest wtedy jedno-, dwu-, lub trójstopniowa. Ostatni stopień, najbliżej wylotu do próżni wstępnej często wykonuje się jako eżektorowy. Dzięki temu pompa może pracować przy gorszej próżni wstępnej. Potrzebna próżnia wstępna wynosi zazwyczaj 1 - 70 Pa dla pomp olejowych i do 2.6 kPa dla pomp rtęciowych. Przy wyższym ciśnieniu próżni wstępnej pompa dyfuzyjna przestaje pracować.
Pompy dyfuzyjne, w których czynnikiem jest olej, można podzielić na pompy frakcjonujące, półfrakcjonujące i niefrakcjonujące. Frakcjonowanie polega na rozdzielaniu oleju na różne frakcje, różniące się temperaturą wrzenia. Sprzyja to uzyskiwaniu wyższych próżni.
Historia Irving Langmuir pracując dla General Electric w latach 1909 - 1916 udoskonalił znacznie technikę próżniową i wynalazł pompę dyfuzyjną, co umożliwiło osiąganie wysokiej próżni i poprawiło znacznie parametry lamp elektronowych.
Zastosowanie Za pomocą typowych pomp dyfuzyjnych można uzyskiwać ciśnienia 10-3 - 10-5 Pa, a nawet niższe.