Od 1526 roku regionem władali Habsburgowie.

Odkrycie w Tarnowicach i w okolicy nowych, wydajnych złóż kruszców srebronośnych było przyczyną powstania osady górniczej, która szybko zdobyła dominująca pozycję w regionie i przekształciła się w miasto Tarnowskie Góry. Wydane przez księcia opolskiego Jana II Dobrego i księcia karniowskiego, margrabiego Jerzego von Ansbach akty, wolności górniczej w 1526 roku i „Ordunek Gorny” w 1528 roku stały się podstawą pomyślnego rozwoju miasta, co przyczyniło się do powstania zagłębia przemysłowego na Górnym Śląsku i później Górnośląskiego Okręgu Przemysłowego.

Po trzech wojnach śląskich w połowie XVIII w. Tarnowskie Góry razem z ziemią bytomską – tak jak i większa część Śląska – dostała się pod władanie Hohenzollernów i stała się częścią Królestwa Pruskiego.

26 listopada 1741 r. król pruski Fryderyk II Wielki wydał ordonans nakazujący wydzielenie powiatów (niem. Kreis) i podporządkowanie ich starostom (niem. Landrat). Stolicą utworzonego wówczas powiatu formalnie był Bytom, ale faktyczną siedzibą władz były Tarnowskie Góry.