Ponowny rozwój gospodarczy tych ziem związany jest z inwestycjami królewskimi i działalnością hrabiego Fryderyka Wilhelma von Redena. Z jego inicjatywy powstała w okolicach Tarnowskich Gór m.in. kopalnia „Fryderyk” i huta „Fryderyk”. Do odwadniania kopalni sprowadzono z Anglii maszynę parową. Była to pierwsza maszyna parowa uruchomiona w Europie kontynentalnej.
1 października 1818 r. władze powiatu bytomskiego przeniosły się na stałe do Bytomia. Ustawą z dnia 27 marca 1873 r. z północnej części powiatu bytomskiego utworzono powiat tarnogórski.
W 1922 r. pruski powiat tarnogórski został podzielony między Niemcy i II Rzeczpospolitą. Polski powiat tarnogórski obejmował 254,25 km² i liczył ponad 66 tys. mieszkańców.
1 kwietnia 1939 r. do powiatu włączono gminy: Piekary Śląskie, Brzozowice-Kamień, Brzeziny Śląskie i Dąbrówkę Wielką.
W czasie II wojny światowej Tarnowskie Góry, powiat tarnogórski i całe ówczesne województwo śląskie, zostały włączone do III Rzeszy. Na mocy rozporządzenia nadprezydenta prowincji górnośląskiej z 4 listopada 1941 r., „były polski powiat tarnogórski” (oficjalnie niem. Landkreis Tarnowitz) od 1 kwietnia 1942 r. stał się częścią niemieckiego powiatu bytomsko-tarnogórskiego (niem. Landkreis Beuthen-Tarnowitz).