W ten sposób większość dzisiejszej Nadrenii Północnej-Westfalii (oprócz Arcybiskupstwa Kolonii i Biskupstwa Münsteru) była poddana władzy książąt Bergu.
Panująca w księstwie dynastia wygasła już w 1609 roku wraz z bezdzietną śmiercią ostatniego władcy. Doszło wówczas do wojny o sukcesję w księstwie, zakończonej ostatecznie 12 listopada 1614 roku pokojem w Xanten, który tak naprawdę był traktatem rozbiorowym. Na podstawie zawartego układu Berg i Jülich dostały się pod rządy władcy Palatynatu Neuburskiego, natomiast Kleve i Mark przypadły Brandenburgii. Wraz z wygaśnięciem głównej dynastii rządzącej Palatynatem w roku 1685, linia Neuburska odziedziczyła elektorat i uczyniła Düsseldorf swą stolicą do czasu odziedziczenia tronu bawarskiego przez elektora Palatynatu w 1777 roku.
Francuska okupacja księstwa Jülich podczas francuskich wojen rewolucyjnych oddzieliła to księstwo od księstwa Bergu. W 1803 roku Berg przeszedł w ręce młodszej linii Wittelsbachów tracąc swój dotychczasowy związek z Bawarią.