W przededniu podziału dekanatu Oświęcim dekretem biskupa Piotra Gembickiego z 21 października 1644 w jego skład wchodziło 36 parafii: Oświęcim, Włosienica, Poręba Wielka, Grojec, Jawiszowice, Osiek, Dankowice, Bielany, Wilamowice, Stara Wieś, Witkowice, Nidek, Kęty, Czaniec, Bulowice, Pisarzowice, Kozy, Bestwina, Berełtowice, Lipnik, Mikuszowice, Wilkowice, Komorowice, Łodygowice, Rychwałd, Ślemień, Jeleśnia, Łękawica, Łodygowice, Lipowa, Radziechowy, Cięcina, Milówka, Rajcza, Żywiec Stary, Żywiecwww.parafia.milowka.pl: Dekanat żywiecki..
W latach 1747–1749 dekanat obejmował 15 parafii. Ówczesną liczbę katolików szacuje się 20 128, żydów na 2462, protestantów na 358 (338 kalwinów i 20 luteran).
W 1786 dekanat oświęcimski został włączony, wraz z zawiślańską częścią diecezji krakowskiej, do nowo utworzonej diecezji tarnowskiej i pozostał w niej – poza krótkimi epizodamiB. Kumor, Ustrój i organizacja Kościoła polskiego w okresie niewoli narodowej (1772-1918), Kraków 1980, s. 70–73, 166–167. – aż do 1880 rokuB. Kumor, Diecezja tarnowska. Dzieje ustroju i organizacji 1786-1985, Kraków 1985, s. 141–149..