Widząc, że próba pociągania Luke’a na Ciemną stronę Mocy nie udała się, Palpatine postanowił go zabić przy użyciu Błyskawic Mocy. Widok cierpiącego i umierającego syna uwolnił Vadera spod wpływu Ciemnej strony Mocy – poświęcając swoje życie, zrzucił on Imperatora do szybu chłodzącego Gwiazdy Śmierci. Spadający Palpatine „wystrzelił” w górę Błyskawice Mocy, które przechodząc po metalowej poręczy poraziły Vadera, powodując awarie systemów podtrzymujących go przy życiu. Nawrócony Vader przed śmiercią poprosił Luke’a o zdjęcie mu maski, chcąc zobaczyć syna choć raz „własnymi oczami”.

W ostatniej scenie Powrotu Jedi Luke przyglądał się duchom Anakina Skywalkera, Obi-Wana Kenobiego oraz Yody – wymownemu znakowi tego, że Anakin Skywalker ostatecznie „zjednoczył się z Mocą”.

Geneza tytułu Darth i imienia Vader Podczas pojedynku z Obi-Wanem na Gwieździe Śmierci (Część IV Nowa Nadzieja), ten zwraca się do niego po prostu Darth. Wskazywać by to mogło, że w pierwotnych zamierzeniach George’a Lucasa i we wczesnych wersjach scenariusza Gwiezdnych wojen postać ta miała się właśnie tak nazywać.