Viareggio zostało włączone do Cesarstwa Francuskiego i Lukka, jak i inne miasta, zostało przekształcone w księstwo, którego panowanie oddano w ręce Felice Bacioni, choć władza była faktycznie sprawowana przez starszą siostrę Napoleona – Elizę. Rządy Elizy charakteryzowały się niepopularnymi działaniami, jak np. przeciwko dziedzictwu kościelnemu. Także polityka finansowa była prowadzona w sposób nielegalny. Mimo to miały też miejsce działania o charakterze pozytywnym, jak np. przyjęcie Kodeksu Napoleona, przyjęcie systemu metrycznego, oraz wprowadzenie, w kwestii opieki zdrowotnej, obowiązkowego szczepienia przeciwko ospie. Rządy Elizy miały pozytywny wpływ na kwestię opieki zdrowotnej, dobroczynności i edukacji.

Po upadku Napoleona Viareggio stało się miejscem krwawych zajść. W marcu 1814 po upadku i ucieczce Baciocchiego, mieszkańcy Viareggio otwarcie zaprotestowali przeciwko Francuzom. Protesty te przemieniły się w akty zwykłego wandalizmu. Viareggio pozostawało pod zaborem austriackim aż do 1817, kiedy na kongresie wiedeńskim powierzono rządy w Księstwie Lukka – Marii Luizie Burbon Hiszpańskiej. W następnych latach nastąpiła odbudowa tego, co zostało utracone pod rządami Cesarstwa Napoleońskiego. Również nowe królestwo przyczyniło się do strukturalnej rozbudowy Viareggio, gdzie została wybudowana m.in. nowa przystań.