FOUP (acrònim de front-opening unified pod o front-opening universal pod) és un suport de plàstic especialitzat dissenyat per subjectar oblies de silici de manera segura en un entorn controlat, i per permetre que les oblies es transfereixin entre màquines per al seu processament o mesurament. miniatura|La part frontal d'una caixa d'enviament d'obertura frontal (FOSB) amb porta manual (no FIMS). Els FOUP van començar a aparèixer juntament amb les primeres eines de processament d'oblies de 300 mm a mitjans de la dècada de 1990. La mida de les oblies i la seva relativa manca de rigidesa feien que els pods SMIF no fossin un factor de forma viable. Els estàndards FOUP van ser desenvolupats per SEMI i membres de SEMI per garantir que els FOUP i tots els equips que interactuen amb els FOUP funcionin junts sense problemes. En la transició d'un pod SMIF a un disseny FOUP, el casset extraïble utilitzat per contenir les oblies es va substituir per columnes d'oblies fixes. La porta es va traslladar d'una orientació inferior a una orientació frontal, on els equips de manipulació automatitzats poden accedir a les oblies. Pas per a un FOUP de 300 mm és 10 mm, mentre que els FOUP de 13 ranures poden tenir un pas de fins a 20 mm. El pes d'una FOUP de 25 oblies completament carregada és d'entre 7 i 9 quilograms, cosa que significa que els sistemes automatitzats de manipulació de materials són essencials per a totes les plantes de fabricació excepte les més petites. Per permetre això, cada FOUP té plaques d'acoblament i forats d'interfície per permetre que la FOUP es posicioni en un port de càrrega i que l'AMHS (sistema automatitzat de manipulació de materials) la reculli i la transfereixi a altres eines de procés o a ubicacions d'emmagatzematge com ara un magatzem o un magatzem subterrani. Les FOUP poden utilitzar etiquetes RF que permeten que siguin identificades pels lectors RF de les eines o dels AMHS. Les FOUP estan disponibles en diversos colors, segons el desig del client.
Els FOUP han començat a tenir la capacitat d'aplicar un gas de purga mitjançant eines de procés, mesura i emmagatzematge en un esforç per augmentar el rendiment del dispositiu. Els FOUP es poden purgar dins d'un magatzem de FOUP o a l'equip que accedeix al FOUP.
FOSB FOSB és un acrònim de caixa d'enviament d'obertura frontal. Les FOSB s'utilitzen per transportar oblies entre instal·lacions de fabricació.
Fabricants ePAK 3S Corea CKplas Dainichi Shoji Entegris Tecnologia del sistema E-SUN Gudeng Precision Mirall Polímer Shin-Etsu
Referències
Categoria:Semiconductors Categoria:Fabricació