Przykładowe zastosowanie: nanoszenie warstw (TiN) lub węgliku tytanu (TiC) na powierzchnię narzędzi skrawających wykonanych z węglików spiekanych. Warstwy te mają bardzo wysoką twardość oraz odporność na ścieranie, przez co w znacznym stopniu zwiększają trwałość narzędzi.
Metoda chemicznego osadzania z fazy gazowej nie sprawdza się natomiast w przypadku narzędzi wykonanych ze stali narzędziowych. Stale te są już obrobione cieplnie, więc długotrwałe oddziaływanie temperatury występującej w tym procesie wpływa niekorzystnie na ich strukturę. W takim przypadku stosuje się metodę fizycznego osadzania z fazy gazowej.
Techniki otrzymywania powłok alt=reaktor PECVD|mały|360px|Schemat reaktora do chemicznego osadzania z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD, z , rzadziej PACVD, z ) jest techniką bardzo atrakcyjną ze względu na niską temperaturę procesu, możliwość osadzania nierównowagowych faz oraz lepszą kontrolę nad stechiometrią i czystością powłok.